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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Reliability of MEMS [electronic resource]
Auflage
11th ed
Link zum Volltext
Beschreibungen/Notizen
  • "Testing of materials and devices".
  • Includes bibliographical references and index.
  • English
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 1-281-94693-1, 9786611946937, 3-527-62213-6, 3-527-62256-X
OCLC-Nummer: 264717029
Titel-ID: 9925036064306463
Format
1 online resource (0 p.)
Schlagworte
Microelectromechanical systems, Electrical engineering