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Particles on surfaces : detection, adhesion, and removal
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Dry etching for VLSI
Updates in applied physics and electrical technology
1991
Signatur: YGY2018
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MOMBE im System Ga-In-As-P : ein Beitrag zum Verständnis der Wachstumsmechanismen
1990
Signatur: D5457
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Laser assisted microtechnology
Springer series in materials science : 19 (Alle Bände)
1994
Signatur: YGY2034
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Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
Materials science and process technology series
1990
Signatur: UIY2200
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Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications
Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
1991
Signatur: YGY2000
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Ultraclean semiconductor processing technology and surface chemical cleaning and passivation : symposium held April 17 - 19, 1995, San Francisco, California, U.S.A
Material Research Society symposium proceedings : 386 (Alle Bände)
1995
Signatur: YGY2107
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Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification and synthesis
Materials science and process technology series
1989
Signatur: UIY2187
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Materials fundamentals of molecular beam epitaxy
1993
Signatur: YGY1949
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