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Rev. and updated ed., repr, 2002
Signatur: UWA2882



VDI-TZ-Proceedings
1989
Signatur: ZKQ1493

VDI-TZ-Proceedings
1989
Signatur: ZKQ1508


Dry etching for VLSI
Updates in applied physics and electrical technology
1991
Signatur: YGY2018






Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
1991
Signatur: YGY2000





Deltadotierprofile in Silizium
1989
Signatur: D5579




A Wiley-Interscience publication
1994
Signatur: YFC1173

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