2., überarb. Aufl, 1990
Signatur: XWQ1209(2)
Repr. with corr, 1994
Signatur: XWQ1283
2., überarb. und erw. Aufl, 1972
Signatur: XWQ1047(2)
2. ed., repr, 1997
Signatur: XWQ1233(2)
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Autor / Autorin
- Hadamovsky, Hans-Friedrich
- Prince, Betty
- Runyan, Walter R
- Anders, Rudolf
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- Carter, George
- Doering, Robert
- Grant, William A
- Grovenor, Christopher R
- Heywang, Walter
- Hu, Chenming
- International Semiconductor Manufacturing Science Symposium
- Kressel, Henry
- Mataré, Herbert F
- Nishi, Yoshio
- Pasynkov, Vladimir V
- Phillips, James C
- Savel'ev, Georgij A
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Schlagwort
- Halbleiter
- Halbleiterwerkstoff
- Fertigung
- Halbleiterspeicher
- Halbleitertechnologie
- Amorpher Halbleiter
- Czochralski-Verfahren
- Drehung
- Epitaxie
- Halbleiterschaltung
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