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Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
1992
Signatur: YFC1181
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Autor / Autorin
- Tamim, Ahmed
- Amrein, Thomas
- Baggerman, J. A
- Bernhard, Norbert
- Bogenschütz, August Friedrich
- Brader, S. J
- Chačaturyan, O. A
- Chopra, Kasturi L
- Christou, Aris
- Coutts, Timothy J
- Dammel, Ralph
- Feldman, Leonard C
- Flory, Francois R
- Glendinning, William B
- Hartnagel, Hans L
- Hayakawa, Shigeru
- Horst, Dietmar
- Kaur, Inderjeet
- Klenk, Reiner
- Kuzʹminov, Jurij S
Erscheinungsform
Schlagwort
- Dünne Schicht
- Dünnschichttechnik
- CVD-Verfahren
- Ferroelektrikum
- Lithografie
- VLSI
- Anwendung
- Bauelement
- Beschichten
- Degradation
- Dickschichttechnik
- Dünnschichtbauteil
- Elektromigration
- Elektronik
- Elektronisches Bauelement
- Ferroelektrischer Analogspeicher
- Fotolithografie
- Galvanotechnik
- Gasphasenepitaxie
- Halbleiterbauelement
Erscheinungsjahr
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