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Mikroroboter und Mikromontage : Aufbau, Steuerung und Planung von flexiblen mikroroboterbasierten Montagestationen
2000
Signatur: YFB3219
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Mikrosystemtechnik : Grundlagen, Praxis, Trends
1999
Signatur: YFB3154
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Mikrosystemtechnik auf Silizium
1995
Signatur: YFB2784
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Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen ; mit 23 Tabellen und 95 Aufgaben
Lehrbuch : Elektrotechnik
2., überarb. und erg. Aufl, 2004
Signatur: YFB3162(2)
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Einführung in die Mikrosystemtechnik : ein Kursbuch für Studierende ; mit 49 Beispielen sowie 54 Aufgaben
2006
Signatur: YFB3780
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Microengineering of metals and ceramics
2005-
Signatur: YFB3421
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Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications
Advanced micro & nanosystems : 5 (Alle Bände)
2006
Signatur: YFB3421-5
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Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen - Technologien - Anwendungen ; mit 55 Tabellen
Vieweg Praxiswissen, Praxis und Studium, Elektrotechnik
2., vollst. überarb. und erw. Aufl, 2006
Signatur: YFB3170(2)
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Mikrosystemtechnik
Vogel-Fachbuch
1. Aufl, 2000
Signatur: YFB3324
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Laser assisted microtechnology
Springer series in materials science : 19 (Alle Bände)
1994
Signatur: YGY2034
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Tagungsband / 10. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen : mit dem Schwerpunkt Integration von Mikrosystemen - Methoden und Prozesse - und den gemeinsamen Abschlussseminaren zu den BMBF-Verbundprojekten EIWOS, MODSYS, REMIKOS ; 20. bis 22. Oktober 2004, Cottbus
Fotomechan. Ms.-Nachdr, [2004]
Signatur: XVI040110
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Mikrosensorik und Mikroelektronik : vom physikalischen Effekt zur Grundstruktur und zum Mikrosystem ; mit 32 Tabellen
Sensorik : 10 (Alle Bände)
2000
Signatur: YFB3201
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Analyse elektromagnetischer Interferenzen in hybriden Mikrosystemen
C-LAB Publication : 20 (Alle Bände)
2004
Signatur: YFB3860, P1751
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Mikrosystemtechnik : Prozessschritte, Technologien, Anwendungen ; mit 13 Tabellen
Lehrbuch : Elektrotechnik
1. Aufl, 2006
Signatur: YFB3586
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Ätzverfahren für die Mikrotechnik
1998
Signatur: YFB3243
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Mikrosysteme : physikalische Effekte bei der Verkleinerung technischer Systeme
2001
Signatur: YFB3293
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Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen ; mit 21 Tabellen
2000
Signatur: YFB3162
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Anwendungsfelder der Mikroelektronik : Vorträge der GME-Fachtagung anlässlich des VDE-Kongresses '94 am 19. und 20. Oktober 1994 in München
GME-Fachbericht : 14 (Alle Bände)
1994
Signatur: XVI940093
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Grundlagen der Mikrosystemtechnik : mit 150 Tafeln
Hanser-Lehrbuch
1997
Signatur: YFB3023
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Etching in microsystem technology
1999
Signatur: YFB3243-EN
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Micro- and nanomanipulation tools
Advanced micro & nanosystems : 13 (Alle Bände)
2015
Signatur: YFB3421-13
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Micro energy harvesting
Advanced micro & nanosystems : 12 (Alle Bände)
[1. ed.], 2015
Signatur: YFB3421-12
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Lehrbuch Mikrotechnologie : für Ausbildung, Studium und Weiterbildung ; mit 106 Tabellen, 292 Aufgaben und einem umfangreichen Internetangebot
2011
Signatur: YFB3714
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Lehrbuch Mikrotechnologie : für Ausbildung, Studium und Weiterbildung ; mit 106 Tabellen, 292 Aufgaben und einem umfangreichen Internetangebot
2012
Signatur: YFB3714
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