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Sputtering by particle bombardment. 2. Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography
Sputtering by particle bombardment (Alle Bände), Topics in applied physics : 52 (Alle Bände)
1983
Signatur: UBX1065-52

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Sputtering by particle bombardment. 2. Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography
Ist Teil von
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
1983
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3540125930, 0387125930
OCLC-Nummer: 1072423155, 1072423155
Titel-ID: 990002826600106463
Format
XII, 379 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UBX
Schlagworte
Sputtern, Zerstäubung

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