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Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
1989
Signatur: YGY1525

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
1989
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3540187219, 0387187219
OCLC-Nummer: 246822790, 246822790
Titel-ID: 990004891700106463
Format
XVII, 501 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZTH, YGY
Schlagworte
Mikromechanik

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