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Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
Materials science and process technology series
1990
Signatur: UIY2200

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
Ist Teil von
  • Materials science and process technology series
Ort / Verlag
Park Ridge, NJ : Noyes
Erscheinungsjahr
1990
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0815512201
OCLC-Nummer: 246783924, 246783924
Titel-ID: 990005383280106463
Format
XXIII, 523 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UFZ, YGY, UIY
Schlagworte
Plasmatechnik

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