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Dry etching for VLSI
Updates in applied physics and electrical technology
1991
Signatur: YGY2018

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Dry etching for VLSI
Ist Teil von
  • Updates in applied physics and electrical technology
Ort / Verlag
New York [u.a.] : Plenum
Erscheinungsjahr
1991
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 0306438356
OCLC-Nummer: 729636204, 729636204
Titel-ID: 990005836540106463
Format
XVII, 237 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKP, UIY, YFC, YGY
Schlagworte
VLSI, Trockenätzen

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