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Abtragen von Metallen mit Excimer-Lasern als Verfahren zur Mikrobearbeitung
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2 : 248 (Alle Bände), IFW-Produktionstechnik, Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover
Als Ms. gedr, 1992
Signatur: ZJQ1130

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Abtragen von Metallen mit Excimer-Lasern als Verfahren zur Mikrobearbeitung
Ist Teil von
Auflage
Als Ms. gedr
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1992
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 3181448028
OCLC-Nummer: 1070311713, 1070311713
Titel-ID: 990005920860106463
Format
V, 143 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZJQ
Schlagworte
Metallfolie, Abtragen, Excimerlaser, Metallschicht

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