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Digest of technical papers / 1992 Symposium on VLSI Technology : June 4 - 6, 1992, Seattle
1992
Signatur: XVI920726

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Digest of technical papers / 1992 Symposium on VLSI Technology : June 4 - 6, 1992, Seattle
Ort / Verlag
Piscataway, NJ : IEEE Service Center
Erscheinungsjahr
1992
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0780306988, 0780306996, 0780307003
OCLC-Nummer: 1068179664, 1068179664
Titel-ID: 990006107240106463
Format
X, 120 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YGQ, XVI
Schlagworte
VLSI, Fertigung, Halbleitertechnologie

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