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Diazonaphthoquinone based resists
Tutorial texts in optical engineering : 11 (Alle Bände)
1993
Signatur: UIY2145

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Diazonaphthoquinone based resists
Ist Teil von
Ort / Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press
Erscheinungsjahr
1993
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 0819410195
OCLC-Nummer: 636640874, 636640874
Titel-ID: 990006273620106463
Format
203 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFC, UIY

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