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Vakuumbeschichtung. 1. Plasmaphysik, Plasmadiagnostik, Analytik / Hrsg.: Hartmut Frey. Hans Frieder Döbele
Vakuumbeschichtung
(
Alle Bände
)
Frey, Hartmut
[Herausgeber]
Kienel, Gerhard
[Herausgeber]
Döbele, Hans F
1995
Signatur:
ZKO1362-1
Details
Autor(en) / Beteiligte
Frey, Hartmut
[Herausgeber]
Kienel, Gerhard
[Herausgeber]
Döbele, Hans F
Titel
Vakuumbeschichtung. 1. Plasmaphysik, Plasmadiagnostik, Analytik / Hrsg.: Hartmut Frey. Hans Frieder Döbele
Ist Teil von
Vakuumbeschichtung
(
Alle Bände
)
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1995
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3184013111, 3540622659
OCLC-Nummer: 263609657, 263609657
Titel-ID: 990006339260106463
Format
XI, 337 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKO
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