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Synthese von photoaktiven Verbindungen für die Mikrolithographie
1993
Signatur: D8350

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Synthese von photoaktiven Verbindungen für die Mikrolithographie
Erscheinungsjahr
1993
Beschreibungen/Notizen
  • Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1993
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1070795252, 1070795252
Titel-ID: 990006455650106463
Format
56 S. : graph. Darst.
Systemstelle
UVN
Schlagworte
Photoresist, Chemische Synthese

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