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Charakterisierung aus der Gasphase abgeschiedener Dielektrika für die Halbleitertechnologie
1993
Signatur: D8186

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Charakterisierung aus der Gasphase abgeschiedener Dielektrika für die Halbleitertechnologie
Erscheinungsjahr
1993
Beschreibungen/Notizen
  • München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 1993
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 636937362, 636937362
Titel-ID: 990006476080106463
Format
125 S. : graph. Darst.
Systemstelle
YEY

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