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Aufbau und Eigenschaften von Oberflächenfilmen nach einer Excimerlaserbelichtung und deren Bedeutung für das Prozessverhalten
1993
Signatur: D8950

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Aufbau und Eigenschaften von Oberflächenfilmen nach einer Excimerlaserbelichtung und deren Bedeutung für das Prozessverhalten
Erscheinungsjahr
1993
Beschreibungen/Notizen
  • Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1993
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1070600251, 1070600251
Titel-ID: 990006548210106463
Format
VIII, 149 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZJQ
Schlagworte
Metallischer Werkstoff, Excimerlaser, Oberflächenbehandlung, Oberflächenreaktion

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