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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Semiconductor integrated circuit processing technology
Auflage
Repr. with corr
Ort / Verlag
Reading, Mass. [u.a.] : Addison-Wesley
Erscheinungsjahr
1994
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0201108313
OCLC-Nummer: 832737547, 832737547
Titel-ID: 990007166660106463
Format
XVIII, 683 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XWQ
Schlagworte
Halbleitertechnologie, Integrierte Schaltung, Halbleiterschaltung

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