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Ätzverfahren für die Mikrotechnik
1998
Signatur: YFB3243

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Ätzverfahren für die Mikrotechnik
Ort / Verlag
Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH
Erscheinungsjahr
1998
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Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3527288694
OCLC-Nummer: 245631184, 245631184
Titel-ID: 990007618630106463
Format
XVI, 398 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKP, YGY, UTP, YFB
Schlagworte
Ätzen, Mikrosystemtechnik

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