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Plasma deposition, treatment, and etching of polymers
Plasma materials interactions
1. [Dr.], 1990
Signatur: UWC1983

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Plasma deposition, treatment, and etching of polymers
Ist Teil von
  • Plasma materials interactions
Auflage
1. [Dr.]
Ort / Verlag
Boston [u.a.] : Acad. Pr.
Erscheinungsjahr
1990
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Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 0122004302
OCLC-Nummer: 246879355, 246879355
Titel-ID: 990009744630106463
Format
XIII, 528 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKS, UQS, UQT, UWC
Schlagworte
Polymere, Plasmaätzen, Plasmatechnik

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