Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Dry etching technology for semiconductors
- Ort / Verlag
- Cham [u.a.] : Springer
- Erscheinungsjahr
- 2015
- Link zu anderen Inhalten
- Beschreibungen/Notizen
- Aus dem Japan. übers.
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 9783319102948OCLC-Nummer: 897940086, 897940086Titel-ID: 990020533760106463
- Format
- XIII, 116 S. : zahlr. Ill.und graph. Darst.
- Systemstelle
- ZJN