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Analyse der Energie- und Teilchenströme bei der ZnO:Al-Abscheidung mittels Magnetron-Sputterns für die Herstellung von Dünnschichtsolarzellen
1996
Signatur: D11208

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Analyse der Energie- und Teilchenströme bei der ZnO:Al-Abscheidung mittels Magnetron-Sputterns für die Herstellung von Dünnschichtsolarzellen
Erscheinungsjahr
1996
Beschreibungen/Notizen
  • Bochum, Univ., Diss., 1996
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1068662447, 1068662447
Titel-ID: 990007151980106463
Format
110 S. : graph. Darst.
Systemstelle
XZM, YFC

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